現在の高度な電子デバイス製造プロセスでは、幅広い種類の高純度ガスや流体プリカーサの正確かつ繰り返し性の高い測定と制御が求められてまいす。ブルックスインスツルメントは、高温対応のメタルシールマスフローコントローラ/メータでこうしたニーズに応えます。安定性の高い高精度測定センサ、高速・精密制御バルブ、パワフルなデジタル電子部品を組み合わせることで、精度の高い薬品コントロールを行います。腐食したプロセス環境からの湿気や酸素などの混入を防止するよう設計されており、高インテグリティ（リークタイト性能）、高清浄性、オールメタルの流量経路でプロセスケミカルの清浄度を維持します。
主な用途
- 光ファイバー製造 - MCVD
- シリコン半導体装置製造プロセス
- CVD（気体プリカーサ供給）
- ストリップ（水蒸気）
- エッチング（パッシベーション用水蒸気）