エラストマシールサーマル式マスフローコントローラ/メータ
ブルックスインスツルメントのエラストマシールフローメータ/コントローラは、高精度かつ長期安定性を実現する高コストパフォーマンスのラインナップを揃えています。お客様のプロセスに必要な精度、信頼性、再現性を兼ね備え、 製品の価値と利益を最大限に引き出します。
主な用途
- 化学および石油化学の解析およびパイロットプロセス
- ラボおよび解析システム
- ライフサイエンスバイオリアクタ
- 薄膜蒸着
- 熱処理、カッティング、サーマルプロセス
- 真空アプリケーション
製品
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製品タイプ | Mass Flow Controller | Mass Flow Controller | Mass Flow Controller | Mass Flow Controller | Mass Flow Controller | Mass Flow Meter |
差別化要因 |
Wide Flow & Pressure Range Superior Long-term Stability High Accuracy
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High Accuracy MultiFlo™ Capability Compact Size Suitable for Full Suite of Gases |
Proven Reliable Performance Long Term Stability Easy to Change Range and Recalibrate in the Field |
IP66 Approved Enclosure Perfect for Hose Down/Wash Down Applications Hazardous Area Approvals
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Ultra-fast Response Times Optional Local Operator Interface Compact Size Suitable for Non-corrosive Gases |
Economical Ideal Upgrade from Volumetric Devices |
流量範囲(フルスケール容量) | .003 - 2500 slpm | 3 sccm - 50 slpm |
0 - 1000 slpm |
.003 - 2500 slpm | 50 sccm - 40 slpm |
0 - 50 slpm |
シール材 | エラストマシール | エラストマシール | エラストマシール | エラストマシール | エラストマシール |
Stainless Steel |
最高圧力 |
.003-200 slpm: 1500 psi/103 bar 100 - 2500 slpm: 1000 psi/70 bar Optional 4500 psi/310 bar on 50 slpm max device |
150 psig/10 bar |
Controllers: 1500 psig Meters: up to 4500 psig on some models |
Up to 100 lpm: 1500 psi/100 bar Up to 50 lpm: 4500psi/310 bar (optional) 100-2500 lpm: 1000 psi/70 bar |
150 psig/10 barg |
150 psig |
精度 |
17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69) ±0.6% of SP (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS Standard Devices (includes uncertainty from reference standards ±0.9% of SP (20-100% FS) ±0.18% of FS (2-20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS |
1% of SP 35-100%, 0.35% of FS 2-35% |
1% of FS 1.5% of FS > 20 slpm |
17025 Certified Devices (Includes linearity, excludes calibration system measurement uncertainty, per SEMI E69) ±0.6% of SP (20-100% FS) ±0.12% of FS (<20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±0.6% of FS Standard Devices (includes uncertainty from reference standards ±0.9% of SP (20-100% FS) ±0.18% of FS (2-20% FS) 1100 slpm up to 2500 slpm: ±1.0% of FS |
3.0% of FS 1.0% of FS (optional) |
5% of FS including linearity |
再現性 |
0.20% SP |
0.20% SP |
0.25% of Rate |
0.20% SP |
0.15% FS |
0.50% FS |
マルチガス マルチレンジ |
Standard |
MultiFlo™ Available |
— |
Standard |
— |
— |
診断能力 |
Available
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Available |
— |
Available
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Available |
— |
アナログ通信 |
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 V, 0-10 V |
0-5 Vdc |
0-5 V, 1-5 V, 0-10 V, 0-20 mA, 4-20 mA |
0-5 Vdc
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0-5 V into 1000 ohms or greater |
デジタル通信 |
DeviceNet™ EtherCAT® EtherNet/IP™ Profibus® PROFINET RS-485 |
DeviceNetTM
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— |
DeviceNet™ EtherNet/IP™ Profibus® PROFINET RS-485 |
RS232 |
— |
サイズ | Medium | Compact | — | Large |
Compact |
Compact |
認定 / 承認 |
ISO/IEC 17025:2005 UL (Recognized): ATEX: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc IECEx: II 3 G Ex nA IIC T4 Gc KOSHA: Ex nA IIC T4
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CE: EN61326: 2006 (FCC Part 15 & Canada IC-subset of CE testing) Safety EN61010-1
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ISO/IEC 17025:2005 CE: EMC, RoHs, PED
UL Listed/Recognized:
Class 1, Div 2, Group A,B,C,D
Class 1, Zone 2, IIC T4, Class II, Zone 22
ATEX:
II 3 G Ex nA IIC T4 Gc
II 3 D Ex tc IIIC T 85°C Dc
IECEx:
Ex nA IIC T4 Gc
Ex tc IIIC T 85°C Dc
KOSHA: Ex nA IIC T4 Ex tc IIIC T85°C Dc |
ATEX Zone 2 CSA Div 2/Zone 2 (Recognized) |
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